什么是涂层与薄膜分析?

现代生活的各个方面都受益于涂层或薄膜技术。无论是集成电路芯片中的阻挡层薄膜,还是铝制饮料罐上的转化涂层,X 射线分析技术都是研发开发、生产过程控制和质量保证的重要组成部分。

X 射线荧光(XRF)可用于确定金属涂层的厚度和元素组成。在半导体制造过程中,X 射线反射测量(XRR) 常被用作计量工具,用于测量多层涂层堆叠的层厚,同时还可表征其他涂层性质,如表面粗糙度和层间扩散。
作为纳米技术研究的重要推动手段,X 射线衍射(XRD)及相关技术用于研究薄膜的分子结构特性。理学的技术和经验为涂层和薄膜测量提供了多种无损分析解决方案。

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涂层和薄膜

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