理学产品
理学产品系列
探索科学,成就卓越——70 余年来,理学(Rigaku)始终致力于 X 射线分析与检测技术的发展,作为值得信赖的合作伙伴,帮助科研与工业用户深入理解材料结构,拓展科学与工程的边界。
半导体计量
半导体技术正在持续推动社会与产业的变革,让未来更美好。作为 X 射线计量解决方案在半导体工艺研发与量产领域的全球领先供应商,理学致力于将这一愿景变为现实。
TXRF 系列
理学 TXRF 系列广泛应用于半导体制造与研发,可对晶圆表面痕量元素污染进行高灵敏度检测。结合气相分解(VPD)技术,可进一步降低检测下限,实现对薄膜材料高精度定量分析,从而有效提升工艺监控与质量控制能力。
了解更多 >WDXRF 系列
WDXRF 系列以其在材料成分与厚度分析方面的高精度性能而著称,尤其适用于轻元素的准确测量。作为半导体高性能器件制造与研发领域的关键设备,理学提供的解决方案包括 AZX 400 和 WaferX 310。
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复合式计量工具
复合式计量工具结合了能量色射型荧光X射线分析(EDXRF)和光学检测技术。通常用于对BEOL(后端工艺)和封装应用中的多层结构的特性评估。该系统集成微区 EDXRF、二维显微成像与三维扫描功能,可实现在线、非破坏性的检测与计量。
了解更多 >X射线检测装置与CT
无损成像技术可在不破坏样品完整性的前提下,用于检测、分析与质量控制。此外, X 射线CT高分辨率三维成像技术也广泛应用于材料科学与生命科学研究领域。
热分析
热分析包括一系列研究材料随温度变化而产生的物理变化及化学变化的科学技术。
STA
同步热分析仪(STA)可同步进行TG与DSC测量。按照一定的温度程序对样品加热,TG测量加热或冷却时产生的样品质量变化,DSC测量吸热、放热反应以及相变(如熔化、玻璃转变等)所伴随的热能变化。
了解更多 >手持式拉曼
理学手持式拉曼分析仪可在您最需要的场景下、对材料进行快速检测、精准识别与可靠验证。