Was ist die Analyse von Beschichtungen und Dünnschichten?

Viele Aspekte des modernen Lebens profitieren von der Beschichtungs- oder Dünnschichttechnologie. Ob es sich um eine Barriereschicht in einem integrierten Schaltkreis-Chip oder eine Konversionsbeschichtung auf einer Aluminium-Getränkedose handelt, röntgenanalytische Verfahren sind ein wesentlicher Bestandteil sowohl der Forschung und Entwicklung als auch der Produktionsprozesskontrolle und der Qualitätssicherung. Mit der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) lassen sich die Dicke und die elementare Zusammensetzung von Metallbeschichtungen bestimmen. Die Röntgenreflektometrie (XRR), die in der Halbleiterfertigung häufig als Messinstrument eingesetzt wird, dient zur Messung der Schichtdicken in einem Mehrschichtstapel von Beschichtungen und kann auch andere Schichteigenschaften wie Rauheit und Diffusion zwischen den Schichten charakterisieren. Die Röntgendiffraktion (XRD) und die damit verbundenen Techniken werden zur Untersuchung der molekularen Struktur von Schichten eingesetztund haben sich zu einem führenden Werkzeug in der Nanotechnologieforschung entwickelt. Die Technologie und Erfahrung von Rigaku bietet eine Vielzahl von zerstörungsfreien analytischen Lösungen für Beschichtungs- und Dünnschichtmessungen.

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