涂层与薄膜

从塑料基硅膜到半导体晶圆堆栈

现代生活的方方面面都受益于涂层与薄膜技术。无论是集成电路芯片中的阻挡层薄膜，还是铝制饮料罐表面的转化涂层，X 射线分析技术都是此类材料研发、生产过程控制和质量保障中不可或缺的一部分。X 射线荧光技术（XRF）可用于测定金属涂层的厚度和元素组成。

X 射线反射技术（XRR）是半导体制造过程中的常用计量工具，用于测量多层涂层堆叠结构中各层厚度，还可以表征表面粗糙度和层间扩散等其他涂层特性。X 射线衍射（XRD）和相关技术已成为纳米技术研究的主要推动力，可用于解析薄膜的分子结构特征。凭借先进的技术和丰富的经验，理学为涂层和薄膜测量提供多种无损分析解决方案。