面内衍射有何应用？
用于薄膜材料表征
面内衍射是一种 X 射线衍射技术，其中入射光束和衍射光束几乎平行于样品表面，是薄膜表征的重要方法。在标准衍射几何（如 Bragg-Brentano 几何）下，测量的是与样品表面平行的晶面。X 射线会穿透样品一定深度，在其中发生衍射；然而，如果样品层太薄，X 射线会被样品完全透射，无法观测到衍射。在这种情况下，采用面内衍射。
SmartLab 的第五面内水平轴可测量样品表面平面内的衍射。厚度不到一个纳米的超薄膜以及表层织构可以在无需将样品重新置于不稳定的垂直位置的情况下进行分析。通过耦合面内与垂直扫描轴，可以完整测量织构化块体材料的结构。样品始终保持水平放置。水平样品放置还可以使用全线聚焦光束，大幅缩短测量时间，无需在扫描前转换为点聚焦。利用 SmartLab 的 CBO 技术和 5 圈测角仪，科学家可以进行更复杂且更易操作的实验。
面内衍射具有两个主要特点：光束的穿透深度限制在样品表面约 100 nm 以内；该技术测量的晶面几乎垂直于样品表面，其他技术无法测量。
