什么是微区衍射？
微小样品或局部区域的 XRD 分析，包括衍射图谱映射
对微小样品或大样品局部区域进行的 X 射线衍射（XRD）分析通常称为微区衍射（microdiffraction）。当样品尺寸过小，不适合常规衍射仪器的光学和精度要求时，微区衍射被认为是首选技术。该方法采用微区 X 射线光束，使衍射特性可随样品位置进行映射。通过将微束准确、精确地定位在样品表面，获得的信息可绘制成衍射函数图（Diffraction Function Map, DFM）。
衍射数据包含物相鉴定、晶粒取向（织构）、应力、结晶度及晶粒尺寸等关键信息。随着材料研究和制造工艺的发展，局域结构对产品产率与可靠性的影响日益显著，微衍射技术的应用正在快速增长。微区衍射的应用包括：图案化晶圆上的测试区、由组合化学生成的化合物库、地质标本中的包裹体分析、金属或塑料零件的失效分析，制造过程中的质量控制（QC）。
