纳米技术

XRD、XRR与SAXS:纳米尺度表征的核心技术

纳米技术横跨生物学、化学、物理学和工程学等众多研究领域,具有独特的跨学科特点。该领域的共性在于对研究对象结构横向尺寸的关注。纳米技术通常涉及在十亿分之一米(10⁻⁹米)尺度范围的材料或其组件的结构特性,其研发工作依赖于对从半导体器件到纳米粉末等各种结构中原子和分子间距的精确测量。由于 X 射线波长与纳米结构尺度相当,因此 X 射线衍射(XRD)及相关技术是纳米技术研究的核心手段。X 射线反射法(XRR)用于测定膜层厚度、表面粗糙度和密度。

高分辨率 X 射线衍射可以测量层厚、粗糙度、化学组成、晶格间距、应变弛豫等。X 射线漫散射用于分析横向和纵向关联、畸变、密度和孔隙率。面内掠入射衍射用于研究超薄有机层和无机层的横向关联以及深度剖面分析。小角 X 射线散射(SAXS)可解析固体或溶液中纳米颗粒的尺寸、形状、分布、取向和关联性。理学整合尖端技术与专业知识,为纳米技术应用提供了一系列先进的X 射线衍射产品。

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