AppNote XRD2024: 使用一维探测器模式 对III 族氮化物薄膜进行高速倒易空间图测量
倒易空间图是一种对晶面间距和晶体取向分布进行独立评估的方法，用于分析薄膜样品，特别是外延薄膜。倒易空间图数据由多个改变了散射角（2θ）和相对样品的入射角（ω）组合的扫描数据组成，因此测量通常较为耗时。结合使用二维探测器的1D曝光模式和ω轴的高速扫描收集数据，可在几十秒到几分钟的时间内进行倒易空 间图测量。
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