装置の安定稼働を支え、測定品質を守る

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サービス契約のアップグレード

「作業費プラン」または「部品プラン」から、「スタンダード」または「プレミアム」へ移行することで、運用リスクの低減と保守予算の計画性向上につながります。

アップグレードのメリット

• サービス適用範囲の拡大
• 緊急修理費用の低減
• 想定外の故障からの復旧時間を短縮
• 保守予算の予測性を向上
• 装置信頼性の向上

保証範囲の更新

複数装置へのサポート拡張

多くの半導体製造現場では、プロセス管理、結晶成長、コンタミネーション管理、および先端パッケージング分野において、複数のリガクの装置が運用されています。

以下の装置についてもサービス契約の拡張をご相談ください。

対象システム

• XRTmicronシリーズ
• XTRAIAシリーズ
• TXRFシリーズ
• ONYXパッケージ検査システム
• WaferXシリーズ

マルチシステムサポートの見積もりをご依頼ください

継続的なサポートのために契約更新をご検討ください

サービス契約の空白期間をなくし、リガクのサービスリソースを継続してご利用いただけます。

契約更新のメリット

• 継続的な技術サポート
• 定期的な予防保守
• 優先サービス対応
• 対象交換部品の保証
• 修理費用発生リスクを低減

サービス契約の更新

リガクサービスへのお問い合わせ

契約更新、プラン変更、対象装置の追加をご検討ですか？

お客様の装置構成や運用状況に最適なサービスプログラムをご提案いたします。お気軽にリガクサービス担当者までお問い合わせください。

リガクのサービス＆サポートで、お客様の計測装置を常に最適な状態に維持します。

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