微小部蛍光X線分析装置
微小部蛍光X線分析(μXRF)は、X線を微小領域に集光し、試料中の元素を局所的に分析する手法です。試料全体の平均情報だけでは把握できない、特定領域の元素組成や局所的な組成差を評価できます。非破壊で測定でき、微小領域の分析から元素マッピングまで対応します。
材料や製品の高機能化・微細化に伴い、局所的な組成変化や異常箇所を把握することが重要になっています。μXRFは、「どこに、どの元素が存在するか」を可視化することで、電子デバイス、電池、先端材料、鉱物、異物など、複雑な試料の組成評価、膜厚評価、異常箇所の原因解析を支援します。
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