WDXRFによるMEMSデバイス材料評価
リガクのWDXRF計測技術は、MEMSデバイスに用いられる薄膜材料の評価において、非破壊・高再現性の計測を実現し、研究開発から工程管理までを支援します。
- RFデバイス(SAW/BAWフィルタ)に用いられるAlプロセスの膜厚評価
- アクチュエータ材料として用いられる圧電PZTプロセスの膜厚・組成の同時計測
MEMS向け推奨ソリューション
リガクのWDXRF計測技術は、MEMSデバイスに用いられる薄膜材料の評価において、非破壊・高再現性の計測を実現し、研究開発から工程管理までを支援します。