高分解能X線回折装置

高分解能X線回折(HRXRD)は、半導体の研究と製造に使用される強力な技術です。結晶の品質評価、層の厚さと組成の分析、界面の品質評価、応力の分析、プロセスの最適化、欠陥の検出と分析、先進材料の開発、製造における品質管理など、さまざまな利点があります。 HRXRDは、半導体技術の進歩に重要な役割を果たしています。

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XTRAIA XD シリーズ
XTRAIA XD シリーズ

HR-XRD(高分解能X線回折)とXRR(X線反射)は、エピタキシャル層の応力、組成、厚さ、多結晶膜の結晶相、テクスチャ、薄膜および膜スタックの厚さ、密度を評価するために使用されます。

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