XTRAIA MF-3000R

非破壊マイクロスポット多機能X線計測ツール

XTRAIA MF-3000Rは、XRR・XRF・XRDの3つの技術を統合した多機能計測ツールであり、膜厚、組成、密度、結晶性の精密解析を可能にします。単色化マイクロX線ビームとデュアル検出器を搭載し、EUVマスクや半導体薄膜の詳細な評価を実現します。

本装置は、先端プロセスの開発および量産制御の両方に対応しており、SEMI準拠の安全性と柔軟な自動化機能を備えています。

XTRAIA MF-3000Rは、薄膜特性評価のために設計された高精度な計測ツールです。X線反射率（XRR）、蛍光X線分析（XRF）、X線回折（XRD）を統合し、膜厚、密度、表面粗さ、結晶性などを高精度に解析します。半導体やEUVマスクなど、要求の厳しい用途に最適な装置です。

X線スポットサイズ

φ20～φ85 µm（FWHM）まで複数構成に対応

多層膜解析

総膜厚最大200 nmまで対応

密度解析

層ごとの密度マッピングが可能

高解像度光学系

高度な構成オプションを備えたHyPix検出器を搭載

ソフトウェア

XRR、XRF、XRD解析ツールを標準搭載、GEM300はオプション対応

安全規格

SEMI S2/S8規格に準拠

手法	XRR（X線反射率）、EDXRF（エネルギー分散型蛍光X線分析）、XRD（X線回折）
感度	サブナノメートルからミクロン厚まで対応
対応サンプル	マスク、ブランケット膜・パターン膜に対応
測定項目	膜厚、密度、組成、表面粗さ
分解能	高い空間分解能と材料分解能
優位性	1台で包括的な膜評価が可能
自動化	安全規格に準拠したレシピベースの運用
テクノロジー	2シータゴニオメータ、HyPixおよびSDD検出器を搭載
適合規格	GEM300、SEMI S2/S8、CE、NFPA、EU指令に準拠
スループット	高スループットでの自動マッピングに対応
主要特性	高精度なマイクロスポット・ターゲティング
主要機能	密度・結晶性・膜厚のリアルタイム解析
オプション	GEM300対応、E84/OHTインターフェース搭載
測定結果	品質管理（QA/QC）および開発向けにマルチ・パラメータの膜データを提供

以下のアクセサリーが、この製品で使用できます。

学会や展示会にご参加の際は、リガクの展示ブースにぜひお立ち寄りください。

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