MEMS
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスは、半導体および電子デバイス分野において研究開発と投資が活発に進められている領域です。スマートフォンやゲーム機の各種センサ、自動車用途、プリンタヘッドのアクチュエータなど、幅広い分野で利用が拡大しています。MEMSでは、薄膜材料の組成や膜厚のわずかな変動が、デバイス特性や信頼性に影響します。
リガクは、MEMS向けの半導体計測ソリューションとして、WDXRFを中心とした材料評価を提供し、研究開発から工程管理までを支援します。
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