リガクの磁性流体シールユニット

真空シール・磁気シール技術による高性能回転シールソリューション

磁性流体シールユニットは、真空または差圧環境に回転運動を導入する最適な方法であり、高性能な真空シール技術として注目されています。磁性流体シールは、オイルシールなどの他の汎用シールよりも優れた密封性能を持ち、主に半導体およびFDP産業向けの真空システムにおいて、回転シールユニットとしての真空シール用途で広く使用されています。また、独自の磁気回路を用いた磁気シール技術により、高速回転・大口径化にも貢献します。

リガクの磁性流体シールユニットの起源は、1952年に世界で初めて回転陽極型X線発生装置を製品化したことに遡ります。当初は自社製品用の組み込みユニットでしたが、その技術を基盤に、1989年に磁性流体シールユニットメーカーとして（旧）理学メカトロニクスが新たに設立されました。信頼性を最優先するお客様のニーズの中で、さまざまな課題を解決する真空シールユニットとして当社製品が広く選ばれています。

X線分析装置の開発・製造で培った分析ノウハウを駆使し、熱分析シミュレーション、磁性流体分析、定量評価、同定評価など、一歩先を行く提案が可能です。また、当社の磁性流体シールを搭載したリガクのX線分析装置は、世界中で広く使用され、お客様からの信頼を得ています。

磁性流体シール30年の歴史

当社は、磁性流体シールの製造・開発において30年の歴史を持つ老舗メーカーです。これまでに蓄積してきた技術とノウハウの量は、他社には負けない自信があります。特に、真空シール用途における磁性流体シール技術は、高い信頼性と性能を求めるお客様から高く評価されており、さまざまな課題解決に貢献してまいりました。また、当社は現状に満足することなく、日々研究開発を重ねることで、真空シール技術のさらなる向上と製品のアップグレードを継続的に行っております。

特注品対応

当社製品の多くは、専用図面を作製した特注品の磁性流体シールユニットです。お客様に寄り添った製品開発をモットーに、1台のスポット生産から量産まで、お客様目線に立ち、当事者意識をもって対応しております。特に、真空シール用途における磁気シール技術は、高い信頼性と精度が求められる環境において、数多くのお客様からご支持をいただいております。当社では、品質・コスト・納期のすべてにおいてご満足いただける製品を提供するために、「どうすれば真に価値ある真空シール製品を届けられるか？」を日々意識しながら、研究開発と技術のアップグレードに取り組んでおります。

徹底した品質管理

リガクの磁性流体シールは、半導体業界の発展とともに歩んできました。究極のクリーン度が求められる半導体製造の現場では、真空シール部品にも同様の高い品質基準が求められます。当社では、磁性流体シールを単なるパーツ部品とは捉えず、磁気シール技術を活用した精密な密封機構として位置づけています。前工程での徹底した部品洗浄、後工程でのクリーニングなど、コンタミネーションの原因を排除するための対策を徹底し、クリーンな真空シール環境に適した製品を提供しています。