リガクの磁性流体シールユニット

真空シール・磁気シール技術による高性能回転シールソリューション

磁性流体シールユニットは、真空または差圧環境に回転運動を導入する最適な方法であり、高性能な真空シール技術として注目されています。磁性流体シールは、オイルシールなどの他の汎用シールよりも優れた密封性能を持ち、主に半導体およびFDP産業向けの真空システムにおいて、回転シールユニットとしての真空シール用途で広く使用されています。また、独自の磁気回路を用いた磁気シール技術により、高速回転・大口径化にも貢献します。

リガクの磁性流体シールユニットの起源は、1952年に世界で初めて回転陽極型X線発生装置を製品化したことに遡ります。 当初は自社製品用の組み込みユニットでしたが、その技術を基盤に、1989年に磁性流体シールユニットメーカーとして（旧）理学メカトロニクスが新たに設立されました。 信頼性を最優先するお客様のニーズの中で、さまざまな課題を解決する真空シールユニットとして当社製品が広く選ばれています。

X線分析装置の開発・製造で培った分析ノウハウを駆使し、熱分析シミュレーション、磁性流体分析、定量評価、同定評価など、一歩先を行く提案が可能です。また、当社の磁性流体シールを搭載したリガクのX線分析装置は、世界中で広く使用され、お客様からの信頼を得ています。