EDXRFとは？

EDXRF（エネルギー分散型蛍光X線分析）は、ppmレベルの低濃度から高濃度まで、さまざまなマトリックスに含まれる元素を、迅速かつ非破壊で定性・定量分析できる技術です。XRF（蛍光X線分析）の一手法であるEDXRFは、元素組成の把握において、高速で信頼性が高く、コストパフォーマンスにも優れたソリューションを提供します。対応できる試料は多岐にわたり、固体、金属、ポリマー、粉体、ペースト、コーティング、薄膜など、幅広い用途に活用されています。研究開発や製造現場での品質管理、スクリーニング分析など、さまざまなシーンの元素分析に使用されています。また、X線の分光機構が必要なWDXRF（波長分散型XRF）と異なり、EDXRFは装置がコンパクトで、省スペース設計のため、ラボや検査施設への導入も容易です。

リガクのXRFは、工業や製造現場での品質保証、研究開発、農業、鉱業など、さまざまな分野で幅広く活用されています。EDXRFを設計、製造を担当するアプライド・リガク・テクノロジーズは、先進的で高品質なEDXRF装置を提供し、リガクの革新的な技術と長年のX線分析装置の実績に基づいた、ユーザー中心のソリューションとサポートをお届けしています。

EDXRFの特長をまとめると以下の通りです。

• 広範な元素分析範囲：ナトリウムからウランまで、幅広い元素を非破壊で分析できます。
• 多様な試料に対応：固体、液体、粉体など、さまざまな試料に対応し、前処理も簡単です。
• 優れたコストパフォーマンス：装置は使いやすく、導入・運用コストを低く抑えられます。
• 幅広い用途：工場での品質保証や研究開発、材料評価など、多くの分野で活用されています。

EDXRFは、他の元素分析技術と比べて扱いやすく、費用対効果に優れたソリューションとして、多くの産業で導入が進んでいます。

EDXRFの仕組み

XRFは、試料にX線を照射して光電効果を引き起こし、試料内の元素から発生する特性X線（蛍光X線）を検出・分析する技術です。X線は可視光や紫外線と同様に電磁スペクトルの一部ですが、より高いエネルギーを持ち、物質を透過する特性があります。EDXRFは、試料から放出された蛍光X線を検出器でとらえ、そのエネルギーごとに分離（エネルギー分散）してスペクトルを取得します。このスペクトルにより、試料中に含まれる元素の種類（定性）とその含有率（定量）を迅速かつ非破壊で評価することが可能です。

リガクのEDXRFは、広範囲のエネルギー範囲の元素を測定します。下図は蛍光X線発生の過程を示します。入射X線が試料中の原子に照射されることで、原子内の内殻電子が弾き飛ばされます。空になった内殻を埋めるために、外側の軌道から電子が移動し、その際に余剰エネルギーがX線（蛍光X線）として放出されます。放出された蛍光X線は、元素ごとに固有のエネルギーを持っているため、検出器がそのエネルギーを検出・計測することで、試料に含まれる元素の種類（定性）および量（定量）を正確に把握することができます。

電子が外殻から内殻に遷移する際に放出されるX線は、それぞれ特定のエネルギーを持ち、これがスペクトル上にピークとして現れます。各元素は固有のエネルギー差を持っているため、これらの遷移によって生じるX線（遷移線）は、元素ごとに異なるエネルギー位置にピークを形成し、そのスペクトルから元素の識別が可能になります。