半導体向けEDXRFソリューション

RoHSやWEEE指令は、人の健康と環境を保護するために、電子デバイス産業におけるより安全で持続可能な取り組みを促進しています。EDXRFは、製品中のカドミウム（Cd）、鉛（Pb）、クロム（Cr）、水銀（Hg）などの有害元素を迅速かつ高精度に特定・測定し、規制への適合を確認します。さらに、金・銀・銅などの貴金属資源の回収にも活用可能です。

他の分析技術とは異なり、EDXRFは製品から廃棄物までの様々な形態の元素分析を、スピード・精度・汎用性を兼ね備えた優れたソリューションです。当社のEDXRFベンチトップソリューションがどのように貢献できるか、詳しくはこちらをご覧ください。

多層薄膜の膜厚と元素組成の測定に使用されるNEX CG IIを搭載した半導体ウェハー。

多層薄膜分析ソリューション

薄膜分析には、数原子層からµm、さらにはmmレンジまでの薄膜を測定できる卓上型エネルギー分散型蛍光X線分析装置「NEX CG IIシリーズ」を提供しています。これらのフラグシップ装置は、以下の特長を備えています：

最大10層の多層膜の膜厚および元素組成の測定
数原子層からミリメートルまでの膜厚測定が可能
ナトリウム（Na）からウラン（U）までの元素を迅速かつ非破壊で分析
スタンダードレスFP法（RPF-SQX）による標準試料不要の分析
最小限のサンプル前処理で、複雑なセットアップが不要
直感的に操作できる強力なNEXソフトウェアと、多言語対応のユーザーインターフェース
低所有コスト・低電力設計・簡単なメンテナンス

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リガクNEX CG IIシリーズ卓上型EDXRF元素分析装置とデスクトップコンピュータ。

リサイクル材料ソリューション

リガクは、リサイクル材料のモニタリングと回収プロセス向けに、高性能なベンチトップ分析装置を提供しています。数分で元素組成データを取得でき、効率的かつコストパフォーマンスに優れたソリューションです。主な特長は以下の通りです。

迅速かつ非破壊での元素分析により、現場でリアルタイム検査が可能
超低濃度からパーセントレベルまでの幅広い元素分析に対応
ナトリウム（Na）からウラン（U）までの全元素を測定
スタンダードレスFP（RPF-SQX）方式により、標準試料なしで高精度な分析が可能
シンプルなサンプル前処理で、複雑なセットアップが不要
専門技術者がいなくても、誰でも簡単に操作可能
低所有コスト、省電力、省メンテナンスで長期的に経済的

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リガクNEXシリーズ卓上型EDXRF元素分析装置（NEX CG IIシリーズ、NEX DEシリーズ、NEX QCシリーズを含む）。

進化したファンダメンタルパラメーター（FP）ソフトウェア

EDXRF用FPソフトウェア RPF-SQX（Rigaku Profile Fitting – Spectra Quant X）は、リガクのプロファイルフィッティング技術を活用し、高度な定性・定量分析を実現します。標準試料なしでも半定量分析を行うことができ、標準試料を用いることで厳密な定量分析も可能です。

散乱線FP法により、測定困難な低原子番号元素の影響を推定し、適切に補正できます。また、濃度が既知のサンプルが1つでもあれば、迅速かつ簡単にマッチングライブラリを作成でき、半定量から高精度な定量分析へ移行できます。認証標準試料(CRM)は高価で、入手が困難な場合があります。RPF-SQXは検量線と比べ、必要な標準試料の数を大幅に削減でき、これにより所有コストの低減と作業負荷の軽減を実現します。

リガクRPF-SQX基本パラメータ-FP法。このソフトウェアを使用することで、必要な校正回数を大幅に減らすことができます。

リサイクル材料のルーチン分析 NEX QC および NEX QC+

手頃な価格でサンプルの元素組成を同定・定量できるシステムをお探しの場合に最適です。

主な特長:
・タッチスクリーン操作と内蔵プリンターにより、利便性を向上
・設置面積が小さく、省スペース設計
・外付けコンピュータ不要で、限られたスペースでも運用可能
・NEX QCシリーズは、リサイクル材料管理や半導体製造における迅速で正確な元素分析をサポートします。

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スタンダードレスFPを使用したリサイクル材料分析 NEX QC+ QuantEZ

NEX QCより高性能な分析を求める場合に最適な、迅速かつ費用対効果の高いソリューションです。

特長:
・NEX QCシリーズの全機能を搭載
・FPソフトウェア（QuantEZ）付属：直感的なフローバーインターフェースで操作を簡素化し、カスタムメソッドの作成を容易に
・スタンダードレスFP（RPF-SQX）対応：標準試料なしで高精度な元素分析が可能
NEX QC+ QuantEZは、リサイクル材料の管理や環境モニタリングにおいて、精度と使いやすさを兼ね備えた理想的な装置です。

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リガク NEX QC+ QuantEZ 卓上型EDXRF元素分析装置とデスクトップコンピュータ。

高性能・微小領域分析用 NEX DE シリーズ

高スループット向上と微小領域の高精度元素分析に最適なソリューションです。

特長:
・高精度な元素同定とスクリーニングを迅速に実施
・微小領域の成分分布を精密に評価できる小径スポット分析対応
・散乱FP法を搭載したスタンダードレスFP（RPF-SQX）による高精度測定
・高スループット設計で、効率的なサンプル処理を実現
NEX DE シリーズは、研究開発や品質管理の現場において、精密な分析と高い生産性を実現する最適な装置です。

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