照射幅計算ツール(平行ビーム法)
計算ツールの概要
このツールでは、入射角(θ)、ビームの発散角(δ)、入射スリット幅(R)、および入射スリットから試料表面までの距離(D)をもとに、
試料表面での入射X線ビームの照射幅を計算します。
使い方
- 計算を実行するための開始入射角(θₛₜₐᵣₜ)とステップ角度(θₛₜₑₚ)を設定します。
- ビームの発散角(δ)と、入射スリットから試料表面までの距離(D)を入力します。
- スリット幅(R)を入力して、異なる入射角における照射幅を計算します。
理論
変数
| 記号 | 意味 | 単位 |
|---|---|---|
| θstart | 開始入射角度 | degree |
| θstep | 入射角のステップ幅 | degree |
| R1 – R4 | 入射スリット幅 | mm |
| δ | X線ビームの発散角 | degree |
| D | 入射スリットから試料表面までの距離 | mm |
| L1 – L4 | 試料表面でのビーム幅 | mm |
試料表面でのビーム幅 Lᵢ の計算式
入射角 θ における試料表面でのビーム幅 Lᵢ は、次の式で求められます。
\(L_i = R_i + 2D \tan(\delta)\)
照射幅 F の計算式
入射角 θ における試料照射幅 F は、次の式で求められます。
\(F_i = \frac{L_i}{\sin(\theta)}\)
入射角パラメーター
[deg]
[deg]
スリット幅パラメーター
[mm]
[mm]
[mm]
[mm]
ビームの発散角と試料までの距離のパラメーター
[deg]
[mm]
ビーム幅の計算値
0.07
[mm]
0.10
[mm]
0.20
[mm]
0.30
[mm]
照射幅 vs 入射角
入力エラーを修正するとグラフが表示されます。
照射幅の算出結果(一覧)
| θ [deg] | F1 [mm] | F2 [mm] | F3 [mm] | F4 [mm] |
|---|