UBM/RDL:膜厚および組成のモニタリング
ハイブリッドメトロロジーアプリケーション
多層スタック構造および厚い単層膜の解析
多層スタック構造や厚い単層膜の膜厚・組成評価にはXRFが有効です。光学計測では困難な層の同時識別にも対応し、逐次測定の手間を削減します。
さらに、XRRでは対応できない非平坦構造の評価も可能です。
- ワンショットで多層スタックを解析
- CuNiPd / CuNiAu / CuNiZnに対応
- 高スループット測定
- 多元素を個別に検出
- ファンダメンタルパラメータ(FP)法による膜厚算出
パッケージング向け計測ソリューション