UBM/RDL:膜厚および組成のモニタリング

ハイブリッドメトロロジーアプリケーション

UBMのRDLバンプ画像(正方形)

多層スタック構造および厚い単層膜の解析

多層スタック構造や厚い単層膜の膜厚・組成評価にはXRFが有効です。光学計測では困難な層の同時識別にも対応し、逐次測定の手間を削減します。

さらに、XRRでは対応できない非平坦構造の評価も可能です。

  • ワンショットで多層スタックを解析
  • CuNiPd / CuNiAu / CuNiZnに対応
  • 高スループット測定
  • 多元素を個別に検出
  • ファンダメンタルパラメータ(FP)法による膜厚算出

パッケージング向け計測ソリューション

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