AZX 400 は、B～U の広い元素範囲にわたり、スパッタリングターゲットを非破壊で分析できます。交換可能なサンプルアダプターを使用することで、加工済みウェーハの膜厚および組成評価にも対応します。
AZX 400によるPZTスパッタリングターゲットの組成マッピング：
本レポートでは、リガク AZX 400（逐次型WDXRF分光計）を用いて、Pb–Zr–Ti–O 系PZTスパッタリングターゲットの組成マッピングを行っています。
主要元素（この場合、Pb、Zr、Ti）では強いピークが現れます。これらについては、計数損失の可能性を考慮する必要があります（この場合、PbとZrを減らすためにフィルターを使用）。このサンプルには微量のSiとAlが含まれています。
WDXRFによるPb、Zr、Ti、Si、Alのピーク強度
標準試料不要の半定量解析（SQX）
AZX 400ソフトウェアには「SQX」と呼ばれる標準試料を使用しない半定量分析プログラムがあります。このプログラムでは、まず定性スキャンを実行し、検出された元素を参照標準試料を使わずに基礎パラメータ（FP）法で定量化します。今回のSQX分析にはSiとAlが含まれています。
AZX 400測定条件
| Element Spectrum | Pb Lα | Ze Lα | Ti Kα | Al Kα | Si Kα |
| kV-mA | 50 kV - 60 mA | 30 kV - 100 mA | |||
| Primary Filter | *F-Cu | *F-Cu | *F-Sn | OUT | OUT |
| Diameter | 20 mm | ||||
| Counting Time (s) Peak | 10 | 10 | 10 | 20 | 20 |
| Background | 5 | 5 | 5 | 10 | 10 |
＊銅（Cu）やスズ（Sn）などのフィルターは、通常、回折を低減するために使用されますが、背景や過剰な強度を低減する目的でも使用されます。 /p>
10回の再現性試験（中心点）
| Component | PbP Comp. | ZrO₂ Comp. | TiO₂ Comp. | SiO₂ Comp. | Al₂O₃ Comp. |
| Unit | mol% | mol% | mol% | mol% | mol% |
| Data No. | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
| Average | 54.798 | 2.407 | 21.659 | 0.087 | 0.050 |
| Max. | 54.849 | 23.438 | 21.722 | 0.089 | 0.053 |
| Min. | 54.758 | 23.373 | 21.575 | 0.082 | 0.048 |
| Range | 0.091 | 0.065 | 0.147 | 0.007 | 0.005 |
| Std. Dev. | 0.025 | 0.023 | 0.041 | 0.002 | 0.002 |
| R.S.D. (%) | 0.05 | 0.10 | 0.19 | 2.65 | 3.05 |
マッピングポイントおよび25点マッピング結果
| Component | PbP Comp. | ZrO₂ Comp. | TiO₂ Comp. | SiO₂ Comp. | Al₂O₃ Comp. |
| Unit | mol% | mol% | mol% | mol% | mol% |
| Data No. | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| Average | 54.782 | 23.427 | 21.654 | 0.085 | 0.053 |
| Max. | 54.888 | 23.480 | 21.860 | 0.112 | 0.099 |
| Min. | 54.620 | 23.353 | 21.501 | 0.065 | 0.040 |
| Range | 0.268 | 0.127 | 0.359 | 0.047 | 0.059 |
| Std. Dev. | 0.064 | 0.034 | 0.090 | 0.013 | 0.011 |
| R.S.D. (%) | 0.12 | 0.14 | 0.41 | 15.49 | 19.96 |
マッピングポイントおよび25点マッピング結果
微量元素の空間分布を示すマップ
AZX 400（逐次型WDXRF分光計）は、スパッタリングターゲットなどの大型・重量試料に加え、さまざまなサイズのウェーハやクーポンの測定に対応できる高い分析柔軟性を備えています。マッピング機能により、微量元素を含む各元素の空間分布を可視化することが可能です。
微量元素の空間分布を示すマップ
