DicifferX Microarea Edition
微小部X線回折装置
微小部XRD測定を、研究開発、不良解析、品質評価の現場へ。
DicifferX Microarea Edition は、微小領域の測定における技術課題を克服する専用設計により、100µm以下の極微小領域からも信頼性の高い回折データを取得します。
従来のラボ用XRDでは難しかった微小部XRDを、お客様のラボで、必要なときに測定を実施でき、研究開発、不良解析、品質評価のワークフローを加速します。
- 高強度：微少領域でも高い回折強度
- 高精度：微小領域でも高精度で照射 － 数十µmオーダーの測定が可能
- 高効率：2D検出器による高効率な測定
DicifferX Microarea Edition 概要
微小部XRDを、特別な測定から日常の評価手段へ
高まる微少領域の評価ニーズ
電子デバイスの小型化に伴い、積層セラミックコンデンサ (MLCC) などの電子部品は、更なる微細化、高密度化が進み、数十µmレベルの微小領域の物性評価のニーズが高まっています。
従来のラボ用XRDによる微小領域の測定における課題
X線を絞ることで強度は大幅に低下します。また、わずかな機械的たわみでも、微小部では照射位置にずれが生じます。このため、100μm以下の微小領域の測定は難しく、高輝度光源施設を利用することが一般的でした。
微少領域の測定をラボで実現する新アプローチ
DicifferX Microarea Editionは、高精度な微小領域測定に最適化したX線回折装置です。高輝度X線源、固定入射光学系、高精度多軸ゴニオメーター、軸交差補正機能を統合し、微小部XRDにおける従来の技術課題を克服します。
必要な時に、その場で測るという選択肢
これまで外部施設に依存しがちだった高精度な微小領域測定を、必要なときに、お客様のラボで実施できます。
DicifferX Microarea Edition 特長
狙った微小領域に、 高精度かつ安定してX線ビームを照射
DicifferX Microarea Editionは、入射X線源を固定したビームラインに近い構造を採用することで、測定中の照射位置を安定化します。
極めて高い精度が求められる微小部XRD測定では、X線管を支持するアームのわずかなたわみでも、照射位置にずれが生じます。ずれの原因を構造的に抑制し、狙った領域を正確に照射することで、信頼性の高い回折データを取得します。
極めて高い精度が求められる微小部XRD測定では、X線管を支持するアームのわずかなたわみでも、照射位置にずれが生じます。ずれの原因を構造的に抑制し、狙った領域を正確に照射することで、信頼性の高い回折データを取得します。
微小部測定に最適化したゴニオメーターと軸交差補正機能
微小部測定専用に設計した高精度多軸ゴニオメーターと、軸交差補正機能を搭載し、±10µm以下の軸交差精度を誇ります。
機械的精度の高さだけでは補いきれない位置ずれは、ソフトウェアによる補正で試料を傾けた状態でも高い位置精度を維持し、数十µmレベルの微小領域でも正確な測定を実現します。
機械的精度の高さだけでは補いきれない位置ずれは、ソフトウェアによる補正で試料を傾けた状態でも高い位置精度を維持し、数十µmレベルの微小領域でも正確な測定を実現します。
高輝度X線源と多層膜集光ミラーによる高強度マイクロビーム
X線ビームを微小サイズに絞ると、回折強度は照射面積に応じて低下します。
DicifferX Microarea Edition は、高輝度ポイントフォーカスX線源と人工多層膜集光ミラーを組み合わせ、汎用XRD装置と比較して、高分解能設定で約100倍、高強度設定で約330倍のX線強度を実現します。
DicifferX Microarea Edition は、高輝度ポイントフォーカスX線源と人工多層膜集光ミラーを組み合わせ、汎用XRD装置と比較して、高分解能設定で約100倍、高強度設定で約330倍のX線強度を実現します。
2D検出器により微小領域からのデータを効率よく取得
広い検出面積の2D検出器 HyPix-3000による高速/高強度測定により、微小領域からの回折データを効率よく取得します。
2θ方向とβ方向（リング周方向）のデータを同時に効率よく取得し、極点測定や残留応力評価、多点マッピング測定などに対応します。
また、2D スキャンでは広い角度範囲の測定データを積算し、微小な変色部や異物などの定性・定量評価が可能です。
2θ方向とβ方向（リング周方向）のデータを同時に効率よく取得し、極点測定や残留応力評価、多点マッピング測定などに対応します。
また、2D スキャンでは広い角度範囲の測定データを積算し、微小な変色部や異物などの定性・定量評価が可能です。
DicifferX Microarea Edition 仕様
| 製品名/エディション | DicifferX Microarea Edition | |
|---|---|---|
| 手法 | 微小部Ｘ線回折（Micro XRD） | |
| 用途 | 結晶性評価、結晶相評価、配向評価、残留応力評価 | |
| テクノロジー | 微小部XRD測定に最適化された光学系、微小部専用ゴニオメーター、軸交差補正機能 | |
| 主要コンポーネント | 回転対陰極X線発生装置 RA-Micro7 HFE、VariMax Mirror HF、高エネルギー分解能2D ハイブリッドピクセルアレイ検出器 HyPix-3000、試料観察カメラ | |
| 制御（PC） | 外部PC、MS Windows® OS、DicifferXガイダンス制御ソフトウェア | |
| 本体寸法 | 1,450 (W) mm x 1,850 (H) mm x 1,100 (D) mm | |
| 重量（本体） | 約750kg | |
| 電源 | 三相 200 V 50/60 Hz, 20 A | |
