ONYX シリーズ

ハイブリッドエネルギー分散型蛍光X線分析(EDXRF)および光学技術

このハイブリッド技術は、通常、BEOLやパッケージ化アプリケーション向けの多層構造サンプルの特性評価に使用されます。これは、マイクロEDXRF、2D顕微鏡、および3Dスキャナーを組み合わせて、インラインでの非破壊検査と計測を実現します。

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