WDXRFによるMEMSデバイス材料評価

リガクのWDXRF計測技術は、MEMSデバイスに用いられる薄膜材料の評価において、非破壊・高再現性の計測を実現し、研究開発から工程管理までを支援します。

  • RFデバイス(SAW/BAWフィルタ)に用いられるAlプロセスの膜厚評価
  • アクチュエータ材料として用いられる圧電PZTプロセスの膜厚・組成の同時計測
表紙
薄膜評価用蛍光X線分析装置によるMEMSデバイス材料評価
50巻2号通巻112号(2019年10月)
青木 悠

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