nano3DX

高分解能3D Ｘ線顕微鏡

サブミクロン領域を観察するＸ線顕微鏡が誕生

リガクの nano3DXは、サブミクロンの分解能を持つX線顕微鏡です。1200Wの高輝度X線源と疑似平行ビーム方式を組み合わせており、一般的なCTでは観察が困難な低密度試料も高コントラストに撮影することができます。ターゲット材はW、Mo（17 keV）、Cu（8 keV）、Cr（5.4 keV）があり、試料の材質やサイズによって選択できます。Mo、Cu、Crがターゲットの場合は、低エネルギーの特性X線による撮影が可能なため、低密度試料も高コントラストに撮影できます。最高倍率のレンズを使用することで、325 nmのボクセル分解能とサブミクロンの空間分解能を実現できます。

見積りを請求する製品について質問するカタログ

nano3DX 概要

高分解能3DＸ線顕微鏡

リガク独自の高輝度Ｘ線発源と高分解能Ｘ線カメラの組み合わせにより、サブミクロン領域が観察できるＸ線顕微鏡が誕生しました。
高い空間分解能と高い密度分解能での撮影が可能です。広視野観察もでき、ユーザーインターフェイスも充実しています。

高い空間分解能

複合素材・薬剤などの試料内部をサブミクロンレベルの高分解能で2D・3D観察ができます。
　・高分解能検出器　　・疑似平行ビーム方式による撮影
　・安定性の高いＸ線源　　・高精度の試料ステージ

高い密度分解能

樹脂中の炭素繊維など、軽元素素材の高コントラスト観察が可能です。
　・用途に応じた特性Ｘ線の選択
　・高輝度かつ高強度のＸ線源

広視野観察

分解能を落とすことなく、広視野撮影が可能です。
　・高画素数のＸ線検出器
　・大きなデータを3D表示できるソフトウェア

nano3DX 特長

高輝度Ｘ線発生装置(1.2kW)

観察試料・目的に合わせて選択できるＸ線源（Cr、Cu、MoKα）

高コントラストで迅速なデータ収集のための平行ビームによる近接撮影方式

高解像度のＸ線カメラ

高精度5軸試料ステージの採用

広い視野でコントラストよく、2D・3Dでサブミクロン領域を鮮明に観察

nano3DX 仕様

製品名	nano3DX
手法	X線顕微鏡（XRM）
用途	高解像度3Dコンピュータ断層撮影
テクノロジー	Ｘ線トモグラフィー
主要コンポーネント	回転対陰極型高輝度Ｘ線発生装置、高分解能Ｘ線カメラ
オプション	Mo、Cr X線ターゲット
制御(PC)	外部PC、MS Windows® OS、nano3Dcalcソフトウェア
本体寸法	1300 (W) x 1640 (H) x 655 (D) (mm)
質量	650 kg （本体）
電源	三相 200-230 V, 15 A