リガクの磁性流体シール
磁性流体シールユニットは、真空または差圧環境に回転運動を導入する最適な方法です。磁性流体シールは、オイルシールなどの他の汎用シールよりも高い性能を持ち、主に半導体およびFDP産業向けの真空システムで回転シールユニットとして使用されています。
リガクの磁性流体シールユニットの起源は、1952年に世界で初めて回転陽極型X線発生装置を製品化したことに遡ります。 当初は自社製品用の組み込みユニットでしたが、その技術を基盤に、1989年に磁性流体シールユニットメーカーとして(旧)理学メカトロニクスが新たに設立されました。 信頼性を最優先するお客様のニーズの中で、さまざまな課題を解決する回転シールユニットとして当社製品が広く選ばれています。
X線分析装置の開発・製造で培った分析ノウハウを駆使し、熱分析シミュレーション、磁性流体分析、定量評価、同定評価など、一歩先を行く提案が可能です。また、当社の磁性流体シールを搭載したリガクのX線分析装置は、世界中で広く使用され、お客様からの信頼を得ています。

リガクの磁性流体シールを選択するメリット
リガクグループ内で磁性流体シールに特化したスペシャル集団。半導体と共に歩んで30年。
磁性流体シール30年の歴史
当社は磁性流体シールの製造、開発を始めて30年の歴史もつ老舗メーカーとなります。その30年分のノウハウの蓄積量は他社には負けない自信がございます。また、現状に満足することなく、日々研究開発を重ね、技術のアップグレードを行っております。
特注品対応
当社製品の多くは、専用図面を作製した特注品です。お客様に寄り添った製品開発をモットーとして、1台のスポット生産から量産まで、お客様目線に立ち、当事者意識をもって対応致します。品質、コスト、納期全てで満足して頂ける製品を提供するためには?を日々、意識し、業務を行っております。
徹底した品質管理
リガクの磁性流体シールは半導体の歴史と共に歩んできました。究極のクリーン度を求められる半導体業界ではシール部品においても、同様のレベルが求められます。当社では、磁性流体シールがただのパーツ部品とは考えておりません。前工程での徹底した部品洗浄、後工程でのクリーニング等、コンタミ起因を排除して製品を提供致します。
リガクの磁性流体シール
磁力と磁性流体が液状Оリングを形成
磁性流体シールは「長寿命」「コンタミレス」「高真空・高耐圧」「高速回転」を特徴としており、オイルシールなどの汎用シールと比較して高性能の効果を発揮し、主に半導体、FPD業界の真空装置内の回転機構シールユニットとしてご使用頂いております。
長寿命
回転軸と固定部での接触がなく、摩耗による消耗がありません。
コンタミレス
シール材が液体であるために、回転時の摩耗によるパーティクルが発生しません。
高真空・高耐圧
磁気回路の形成により、磁性流体がOリング状に固定され、強いシール性能を発揮します。
高速回転
液体でシールするため、損失トルクが少なく、高速回転も可能です。
