真空チャック
サンプルの吸着に最適
- ウェーハや液晶ガラスの搬送時、またはスピンコーターなどの瞬間での高速回転時などに、サンプルに傷を付けることなくしっかりとした吸着が可能です。
- 磁性流体シールを通じて真空引きを行うことにより無駄なスペースを無くし装置全体のコンパクト化にもつながるメリットに加え、安定した回転性能を発揮できる為、真空チャック用の磁性流体シールの需要は徐々に増えつつあります。
真空チャック採用のご検討のお客様
真空チャック用磁性流体シールは特注製品となります。
ご検討のお客様は、被チャック物、使用環境、使用温度範囲、回転数、ご希望の形状や荷重条件、必要な幾何公差等をこちらより弊社へ連絡頂ければ弊社営業より回答いたします。
