XTRAIA TF シリーズ (Fab)

XTRAIA TFシリーズは、パワーエレクトロニクス、RFデバイス、先端ロジックなどの製造工程において、成膜の均一性のモニタリング、結晶方位の評価、積層ヘテロ構造の精密な管理を可能にする、量産ライン向けXRDシステムです。 HRXRD（高分解能X線回折）、XRR（X線反射率測定）、RSM（逆格子空間マッピング）を1台に統合することで、ウェーハの切断や破壊分析を必要とせず、インラインでの歩留まりを大きく向上させます。

本システムは24時間稼働を前提に設計されており、SECS/GEMおよびGEM300による製造オートメーションとのシームレスな統合により、安定性・再現性・スループットの最大化に貢献します。また、プロセスドリフトの排除、新材料の評価、歩留まりの向上を実現することで、先端デバイス製造における品質管理を強力にサポートします。高速な回折マッピングと高性能なウェーハ搬送機構で、研究開発レベルの精度と量産ラインに求められるスループットを両立します。