XTRAIA CD-3010G
半導体向け 斜入射X線散乱CD計測ツール（GISAXS）
GISAXS（斜入射小角X線散乱）を用いた非破壊CD計測と形状プロファイリングにより、浅い・繰り返し構造のナノパターンを高精度に評価します。 フルウェーハマッピングとパターン認識に対応し、研究開発（Lab）から量産（Fab）まで幅広い環境でのCD管理を支援します
主な用途例： FinFET、EUVレジスト、浅いメモリ構造 など
XTRAIA CD-3010G 概要
XTRAIA CD-3010G は、斜入射小角X線散乱（GISAXS）を用いて、半導体製造における臨界寸法（CD）とナノ構造の形状特性を非破壊で高精度に評価する計測ツールです。
ライン＆スペース、ドット、浅いホール形状などのナノパターンに対し、形状・深さ・サイドウォール角などのプロファイリングを可能にし、工程評価に必要な信頼性の高いデータを提供します。フルウェーハマッピングとパターン認識に対応しており、研究開発（Lab）から量産環境（Fab）まで、幅広い現場でのCD管理を支援します。
XTRAIA CD-3010G 特長
GISAXSを用いた浅層パターンの臨界寸法（CD）解析に対応
パターン認識機能付きのフルウェーハマッピングをサポート
形状、深さ、サイドウォール角のプロファイリングが可能
有機材料にも非破壊で対応可能
FinFET、浅いトレンチ構造、EUVパターンの測定に対応
試料前処理は最小限で対応可能
XTRAIA CD-3010G 仕様
| 手法 | 斜入射小角X線散乱測定（GISAXS） X線反射率測定（XRR） |
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|---|---|---|
| 用途 | 浅い繰り返し構造の臨界寸法測定 | |
| X線源 | 封入管, Cu Ka (8.04 KeV) | |
| X線光学系 | 多層ミラー光学系 | |
| X線検出器 | 2次元検出器 | |
| 主要コンポーネント | パターン化ウェーハの計測 周期的な微細な3D形状 ライン＆スペース、ドットまたはホール構造 浅い穴/柱、レジスト、マスクパターン、メモリデバイスのセル領域、FinFET/GAA |
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| 特徴 | パターン認識およびフルウェーハマッピング | |
| オプション | GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート | |
| 本体寸法 | 1865(W) × 3700(D) × 2115(H) mm, 2965 kg (ロードポート含む) | |
| 測定対象 | GISAXS: ピッチ、CD、高さ、SWA（側壁角度）、RT（丸みのある上部）、RB（丸みのある下部）、線幅分布、ピッチ分布、高さ分布 XRR: 膜厚、密度、および粗さ |
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XTRAIA CD-3010G オプション
- 製造ライン向け自動化・統合ソリューション
- CD解析専用カスタムソフトウェアモジュール
以下のアクセサリーが、この製品で使用できます。
XTRAIA CD-3010G イベント
学会や展示会にご参加の際は、リガクの展示ブースにぜひお立ち寄りください。
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イベント日付場所ウェブサイト
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SEMICON SEA 20262026年5月5日 - 2026年5月7日Kuala Lumpur, Malaysia
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ASMC – Advanced Semiconductor Manufacturing Conference2026年5月11日 - 2026年5月14日Albany, NY, USA
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The 2026 IEEE 76th Electronic Components and Technology Conference2026年5月26日 - 2026年5月29日Orlando, Fl, USA
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CEIA Leti Innovation Days2026年6月23日 - 2026年6月25日Maison Minatec, Grenoble, France
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The International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials (IWGO-6)2026年8月2日 - 2026年8月7日College Park, MD, USA.
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SEMICON Taiwan 20262026年9月2日 - 2026年9月4日Taipei, Taiwan
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応用物理学会秋季学術講演会2026年9月8日 - 2026年9月11日北海道大学 札幌キャンパス（北海道・札幌市）
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ICSCRM20262026年9月27日 - 2026年10月2日パシフィコ横浜 ノース
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SEMICON West 20262026年10月13日 - 2026年10月15日San Francisco, CA, USA
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SEMICON Europa2026年11月10日 - 2026年11月13日Munich, Germany
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SEMICON Japan 20262026年12月9日 - 2026年12月11日東京ビッグサイト
XTRAIA CD-3010G
