XHEMIS TX-3000 概要
典型元素の検出限界（LLD）
| 検出限界LLD (E10原子/cm²) | Al | Fe | Ni | Cu |
| TXRF | 14 | 0.06 | 0.06 | 0.09 |
計測時間：1000秒
XHEMIS TX-3000 仕様
| 手法 | 全反射蛍光X線分析 (TXRF) | |
|---|---|---|
| 用途 | 微量元素の表面汚染（Na - U）の高速かつ非破壊での測定 マッピング速度の約3倍の改善 E9原子/cm²の検出限界 |
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| テクノロジー | 高感度金属汚染分析 | |
| 主要コンポーネント | 3検出器構成 高出力W対陰極X線源（9 kW回転対陰極） 軽元素、遷移元素、重元素に最適化された3つの励起エネルギー XYθ試料ステージ 2つのFOUPロードポート |
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| 特徴 | フルウェーハマッピング（SWEEPING-TXRF）、ゼロエッジ除外（ZEE-TXRF） | |
| オプション | バックサイド解析（BAC-TXRF）、GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート | |
| 本体寸法 | 1280 (幅) x 3750 (奥行き) x 2040 (高さ) （モニターと信号塔を除く） |
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| 測定結果 | 定量結果、スペクトルチャート、カラーコンターマップ、マッピングテーブル | |
XHEMIS TX-3000 イベント
