Halbleiter

Röntgenmesstechnik-Lösungen vom Labor bis zur Fertigung

Halbleiter haben das Potenzial, die Welt zum Besseren zu verändern. Rigaku ist bestrebt, dies als weltweit führender Anbieter von Röntgenmetrologie für die Forschung und Entwicklung im Halbleiterbereich sowie für die Massenproduktion zu verwirklichen.

Rigaku ist ein führender Hersteller von Geräten auf Basis der Röntgentechnologie, die Herausforderungen in der Halbleiterforschung und -fertigung lösen. Mit über 70 Jahren weltweiter Marktführerschaft bieten unsere fortschrittlichen Produktfamilien Lösungen für alle Bereiche, von der Prozesskontrolle in der Fertigung bis hin zur Forschung und Entwicklung für die Charakterisierung von dünnen Schichten und Materialien.

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Sichern Sie die Qualität und Zuverlässigkeit Ihrer Halbleiterfertigungsprozesse

Unsere Halbleiter-Röntgenmetrologie-Tools wurden entwickelt, um sowohl für die Halbleiterforschung und -entwicklung als auch für die Massenproduktion die fortschrittlichsten und zuverlässigsten Lösungen zu bieten. Wir verwenden modernste Technologien wie TXRF, WDXRF, EDXRF, XRR, HRXRD und CDSAXS, um höchste Qualität und Genauigkeit Ihrer Messungen zu gewährleisten. Unsere Messgeräte für Röntgendiffraktion (XRD), Röntgenfluoreszenz (RFA), Röntgenreflektometrie (XRR) und Röntgentopographie (XRT) messen kritische Prozessparameter wie Schichtdicke, Zusammensetzung, Rauheit, Dichte, Porosität und Kristallstrukturfehler. Darüber hinaus bieten wir Werkzeuge für die Prozess-Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz (TXRF) und die Dampfphasendekompositions-Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz (VPD-TXRF) zur Kontaminationsmessung an.

Mit einer weltweiten 24/7-Service- und Supportorganisation liefert Rigaku innovative Lösungen für die Ertragssteigerung und Prozessentwicklung. Entscheiden Sie sich für Rigaku und bleiben Sie mit unseren einzigartigen Messtechniklösungen der Konkurrenz einen Schritt voraus.

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