半導體
從實驗室到晶圓廠的 X光計量解決方案
半導體蘊含著推動世界進步的力量。作為全球領先的半導體製程研發與大規模製造X光計量設備供應商,理學正致力於將這一願景轉變為現實。
藉由超過七十年的全球市場領導地位,理學公司始終是X光技術儀器領域的領導製造商,致力於解決半導體研發與生產中的製造難題。我們先進的系列產品為全供應鏈提供解決方案——從晶圓廠內製程控制計量,到薄膜與材料表徵的研發需求,全面覆蓋產業關鍵環節。
支援並提升半導體製造流程的品質與可靠性
理學半導體 X光計量工具旨在為半導體研發和大規模製造提供最先進、最可靠的解決方案。我們採用 TXRF、WDXRF、EDXRF、XRR、HRXRD 和 CDSAXS 等尖端技術,確保測量結果具備卓越的品質和精度。透過X光繞射(XRD)、X光螢光光譜(XRF)、X光反射(XRR)和 X光形貌術(XRT)等計量設備,可精準測量薄膜厚度、成分、粗糙度、密度、孔隙率及晶體結構缺陷等關鍵製造參數。我們還提供全反射-X光螢光光譜及氣相分解-全反射X光螢光光譜等汙染檢測專用工具,實現微量汙染物分析。
仰賴全球全天候服務和技術支援,理學致力於為客戶提供提升良率與優化製程的先進解決方案。選擇理學,以前所未有的計量技術引領產業變革,始終保持競爭優勢。