Elektronik
Die fortschrittliche Analysetechnologie von Rigaku bietet in bewährter Weise Materialanalyse, Identifizierung und Quantifizierung und hilft Ihnen dabei, sichere, effiziente und zuverlässige elektronische Bauelemente und Geräte zu entwickeln.
Herstellung von Wafern
Vor der Deposition von Prozessschichten sollten Sie die Körner und Kristallfehler im monokristallinen Substrat bewerten, um eine optimale Leistung der Bauelemente zu erzielen.
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Filmwachstum, Elektrodenabscheidung
Unsere hochauflösenden und schnellen Röntgendiffraktometer sind in der Lage, die kritischen Parameter der Kristallinität und Dicke von Dünnschichten, die sich direkt auf die Leistungsfähigkeit von Bauelementen auswirken, unabhängig voneinander mit hoher Präzision zu bestimmen.
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Dicing und Verpacken
Um die einzelnen Komponenten eines Chips zu messen, wird ein Gerät benötigt, das kleine Bereiche eines Halbleiterbauelements analysieren kann. Durch den Einsatz eines Röntgendiffraktometers mit Mikrofokusoptik und einem schnellen 2D-Detektor lassen sich schnelle und genaue Messungen von Mikrostrukturen mit hoher Intensität durchführen.
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Leiterplatten (PCBs)
Die Röntgenbildgebung ist ein unverzichtbares Verfahren, um die innere Struktur und Defekte eines einzelnen Chips auf einer Leiterplatte mithilfe von 3D-Volumenrekonstruktion und 2D-Schnittdarstellung zerstörungsfrei sichtbar zu machen.
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Kristallfehler
Bei der Herstellung von Hochleistungshalbleiterbauelementen können Kristallfehler in epitaktischen Dünnschichten Probleme verursachen. Wenn beispielsweise Dünnschichten epitaktisch aufgewachsen sind, können sie Kristallfehler aus dem Einkristallsubstrat übernehmen. Daher ist es entscheidend, die Körner und Kristallfehler im Einkristallsubstrat vor dem Schichtwachstum zu untersuchen, um eine optimale Bauelementeleistung sicherzustellen.
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Kristallqualität
Die Röntgen-Rocking-Curve-Messung ist ein Verfahren zur Bewertung der Kristallqualität von kristallinen Schichten und monokristallinen Substraten. Die Breite des Peaks (FWHM) der gemessenen Rocking-Curve-Profile liefert Informationen über die Orientierungsverteilung der Kristallgitterebenen (Mosaikstreuung) innerhalb der Probe. Diese Orientierungsverteilung kann als Maß für die Perfektion der Probe herangezogen werden. Das SmartLab-Diffraktometer von Rigaku mit seinem hochauflösenden Strahlkonditionierer bietet die erforderliche Auflösung, um die Perfektion hochwertiger kristalliner Schichten und Substrate zu bestimmen.
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Gitterkonstanten
Die Dreiachsige Röntgengeometrie in Kombination mit einem hochpräzisen Goniometer ermöglicht die hochauflösende Beugungsanalyse von einkristallinen Substratwafern. Der Begriff „Dreifachachse“ bezieht sich auf drei unabhängige Kristallbeugungskomponenten. Die Probe bildet eine Achse, während die beiden anderen Achsen mit den einfallenden und gebeugten Strahlkanal-geschnittenen Mehrfachreflexionsmonochromatorkristallen verbunden sind. Durch Verwendung einer XY-Mapping-Bühne kann die Variabilität des Kristallgitterparameters über einen Einkristallwafer hinweg bewertet werden.
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Orientierungsanalyse
Organische Halbleiter sind eine vielversprechende Materialklasse für die nächste Generation von Halbleitern. Sie sind kostengünstig und weisen im Vergleich zu herkömmlichen anorganischen Materialien hervorragende Eigenschaften auf. Die Anordnung und Ausrichtung der Moleküle sind entscheidend für die Eigenschaften organischer Halbleiter. In diesem Beispiel zeigen wir die Vorteile der Verwendung der Röntgendiffraktion (XRD) in der Ebene zur Bewertung der Ausrichtung einer Dünnschicht aus Kupferphthalocyanin (CuPc). Dieses Material ist photoleitfähig und elektrolumineszent, was es zu einem wertvollen organischen Material für verschiedene Anwendungen macht.
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Krümmung
Unterschiede in der Wärmeausdehnung zwischen Epitaxiefilmen und den dazugehörigen Einkristallsubstraten können zu Verformungen der Proben führen. Das Ausmaß der induzierten Krümmung kann durch Analyse der Röntgen-Rocking-Curve-Mapping-Daten bewertet werden, die mit einem XY-Translationsstativ erfasst werden. Das Verständnis des Krümmungsgrades kann als Indikator für die Restspannung innerhalb des Films dienen.
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Dicing und Verpacken
Unterschiede in der Wärmeausdehnung Das SmartLab μHR ist ein fortschrittliches System, das den Kristallzustand von Mikroteilen wie Leiterplatten analysieren kann. Es verwendet eine Mikrofokus-Röntgenquelle und einen schnellen 2D-Röntgendetektor, um kontrastreiche Mikroflächenmessungen in kürzerer Zeit durchzuführen als frühere Systeme, die Röntgenoptiken aus Spalten und Kollimatoren verwendeten. Zwischen Epitaxiefilmen und den zugehörigen Einkristallsubstraten können Verformungen der Proben auftreten. Das Ausmaß der induzierten Krümmung kann durch Analyse der Röntgen-Rocking-Curve-Mapping-Daten bewertet werden, die mit einem XY-Translationsschlitten erfasst werden. Das Verständnis des Krümmungsgrades kann als Indikator für die Restspannung innerhalb der Schicht dienen.
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Leiterplatten
Röntgen-Mikro-CT (Computertomographie) ist ein Verfahren zur Erstellung hochauflösender 3D-Bilder von sehr kleinen Objekten. Dabei werden Projektionsbilder von Röntgenstrahlen, die durch das Objekt hindurchgehen, rekonstruiert. Das rekonstruierte Bild kann in 2D-Querschnitten (Slices) und 3D-Volumenrendering dargestellt werden, wodurch eine zerstörungsfreie Analyse der inneren Struktur und von Defekten des Objekts möglich ist.
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Mikrobereichskartierung
Um mikroskopisch kleine Teile wie Leiterplatten zu analysieren, ist es entscheidend, den kristallinen Zustand der einzelnen Teile zu bewerten. Herkömmliche optische Systeme mussten divergente Um mikroskopisch kleine Teile wie Leiterplatten zu analysieren, ist es entscheidend, den Kristallzustand jedes einzelnen Teils zu bewerten. Herkömmliche optische Systeme mussten divergierende Röntgenstrahlen in einen fokussierten Strahl umwandeln, was aufgrund der starken Abschwächung der Röntgenstrahlintensität sehr zeitaufwendig war. Mit dem SmartLab μHR und einem schnellen 2D-Röntgendetektor ist es jedoch möglich, selbst mit nur 1/10 der Leistung des Röntgengenerators in kurzer Zeit hochintensive Mikroflächenmessungen durchzuführen.
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