塗層與薄膜
從塑膠基矽膜到半導體晶圓堆疊
現代生活的各方面都受益於塗層與薄膜技術。無論是整合電路芯片中的阻擋層薄膜,還是鋁製飲料罐表面的轉化塗層,X光分析技術都是此類材料研發、生產過程控制和品質保障中不可或缺的一部分。X光螢光技術(XRF)可用於測定金屬塗層的厚度和元素組成。
X光反射技術(XRR)是半導體製造過程中的常用計量工具,用於測量多層塗層堆疊結構中各層厚度,還可以表徵表面粗糙度和層間擴散等其他塗層特性。X光繞射(XRD)和相關技術已成為奈米技術研究的主要推動力,可用於解析薄膜的分子結構特徵。憑藉先進的技術和豐富的經驗,理學為塗層和薄膜測量提供多種無損分析解決方案。