Qualana
微小部蛍光X線分析装置
分析結果に確信を与えるμXRF
Qualana は、微小箇所の分析で生じがちな「この結果で進めてよいのか」という迷いを減らし、得られた分析結果に確信を持てる状態につなげます。狙った箇所を正確に捉え、位置情報と分析値を一貫して扱えることで、確認のために測り直したり、別の手法で評価したりする必要が無くなります。
Qualana 概要
狙った微小箇所を、そのまま測る
微小箇所の元素分析では、「カメラで見ている場所」と「X線が当たっている場所」のずれが、結論に影響を与えます。Qualana の Vertical3-Axis Targetingは、低倍率カメラ・高倍率カメラ・X線源の3系統を垂直方向に配置し、高精度ステー ジ制御によって観察位置を測定位置へ正確に導く機構です。ずれ由来の判断のミスや、位置合わせのやり直しを減らします。
測定の流れが追えるから、説明・再確認の手間が減る
最初から全面を細かく測るのではなく、まず広域で全体像をつかみ、必要な箇所だけを詳しく測ります。そのため、時間を抑えながら見落としを減らし、判断に必要なデータにたどり着きやすくなります。また、測定の流れが追えるため、説明や再確認の手間を抑えます。
Qualana 特長
カメラとX線の位置ズレを抑える、垂直入射×高精度ステージ：
垂直方向から、カメラとX線の観察・照射位置を一致させる光学系「Vertical3-Axis Targeting」と高精度ステージ制御により、「カメラで見ている場所」と「X線が当たっている場所」のずれを抑えます。X線を斜めに照射する従来の微小領域測定では、わずかなずれが測定点の取り違えや解釈の迷いにつながることがありますが、Qualanaは狙った箇所をそのまま測定しやすく、スポット測定の信頼性を高めます。
用途に合わせてスポット径を切り替え：
Qualanaは、測定目的に応じて最適な測定径を選べるよう設計されています。Spot Focus Controlにより、20～200 μmの範囲で測定径を調整し、広い範囲の探索と微小領域の詳細確認を、同一装置で両立できます。また、各測定径（20, 50, 100,150, 200 μm）の感度ライブラリが登録されており、あらゆるシーンでファンダメンタルパラメータ法によるスタンダードレスでの定量分析が可能です。
大面積・大型試料に強いマッピング：
220(W)×220(D)×120(H)mmの試料に対応し、200×200mm（8inch相当）の全面XYマッピングも可能。高さ自動調整や干渉防止センサーにより、背の高い試料でも安定して測定できます。
標準試料なしで、薄膜の膜厚・組成を評価
Qualanaは、リガクが50年以上培ってきたFP解析技術を搭載しています。定量分析に不可欠な感度ライブラリが標準搭載されているため、標準試料を準備することなく、薄膜の膜厚と組成を評価できます。試料を破壊することなく、観察した位置をそのまま分析できるため、研究開発や不良解析における薄膜評価を効率的に行えます。
広域からスポットをつなぐ測定フロー
Qualanaのソフトウェアは、広い範囲を把握した後、必要な箇所だけを詳しく確認するという分析の流れを一続きで扱える設計です。複数の測定データを紐づけて保存することができるため、どの結果を見て、なぜ追加で測定したのかを後から確認できます。その結果、データの説明や確認にかかる負担を抑えます。
“すぐ使える”ソフトの操作性：
短期間で習熟できることを目指した、分かりやすいソフトウェア。試料投入、撮影、条件設定、測定開始の4ステップを1つのフローで一貫して行えます。新しい担当者でも操作手順を理解しやすく、担当変更時の立ち上がり負担を抑えます。
Qualana 仕様
| 品名/エディション | Qualana | |
|---|---|---|
| 手法 | 微小部蛍光X線分析 | |
| 用途 | 微小領域の組成・膜厚分析、元素マッピング分析 | |
| テクノロジー | 微小部蛍光X線分析 | |
| 主要コンポーネント | 空冷式X線管、ポリキャピラリー、SDD検出器 | |
| オプション | プリンター | |
| 制御（PC） | 外部PC、MS Windows® OS、Qualana Controllerソフトウェア、Qualana Analyzerソフトウェア | |
| 本体寸法 | 1,040 (W) mm x 1,315 (H) mm x 810 (D) mm | |
| 重量（本体） | 560 kg | |
| 電源 | 単相 200-240 V，50/60 Hz，20 A | |
