XTRAIA XD-3300

インラインHRXRD/XRR計測ツール

XTRAIA XD-3300は、大量生産において高いスループットで、ブランケットおよびパターン化された300 mmおよび200 mmウェーハ上の単層および多層膜の非破壊分析を可能にする多目的X線計測ツールです。

測定結果には、X線反射率（XRR）による膜厚、密度、粗さ、および高分解能XRD（HRXRD）によるエピタキシャル膜の厚さ、組成、歪み、格子緩和、結晶性が含まれます。

様々なアプリケーションをサポートしており、インラインXRD/XRR多層積層膜、金属薄膜、圧電薄膜、SiGe、および化合物半導体膜の厚さと組成解析などがあります。アプリケーションにあわせて最適な装置構成を選択できます。

XRDおよびXRR解析は、インライン化によって自動化できる可能性があります。

効率的な処理のためのインライン機能

柔軟なサンプル位置決めのためのステージとゴニオメーター

40 μmまでのビームサイズの高分解能X線ビームを利用

効率的な運用のための完全な自動化機能

200 mmウェーハと300 mmウェーハの両方に対応

精密なデータ収集のために2次元検出器を装備

高度な解析ソフトウェアによる包括的なデータ解釈のためのサポート

手法	高分解能X線回折（HRXRD）、X線反射率（XRR）
用途	ブランケット/パターン化されたエピタキシャル薄膜向けデュアルビーム（ラインおよび40μmマイクロスポット）パターン認識
X線源	1：9 kWのCu回転対陰極または2.2 kWのCu封入管 2：パターン化されたウェーハの測定用のCOLORS™ハイブリッドCuビームモジュール
主要コンポーネント	ブランケットおよびパターン化されたウェーハ計測 X線光学系：最大2台のモノクロメーター Ge（400）×2、Ge（220）×2、Ge（220）×4 X線検出器：2D（HyPix-3000）マイクロスポットサイズ、パターン認識、高強度、およびχ軸高精度ゴニオメータ
特徴	高強度の回転対陰極、およびマイクロスポットビーム搭載 COLORS™ハイブリッドCuビームモジュール
オプション	モノクロメーター、各種光学部品 GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート
本体寸法	1656(W) x 3689(D) x 2289(H) mm
測定結果	HRXRD、XRR、ロッキングカーブ、および逆格子マップ（RSM）

学会や展示会にご参加の際は、リガクの展示ブースにぜひお立ち寄りください。

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