XRTmicron Lab

XRTmicron Labは、結晶成長やエピタキシャル層の形成に関する先端研究を支えるために最適化された装置です。

高分解能・非破壊のX線トポグラフ像によって可視化された結晶試料の欠陥を解析することで、研究者は材料品質を左右するメカニズムの理解を深めることができます。

テストクーポンから300 mmウェーハまでの各種試料のマニュアルハンドリングに柔軟に対応します。様々なサイズや状態の試料に対応する設計で、結晶成長プロセスの検証や欠陥形成初期段階の解析など、ウェーハ以外の形状の試料で行なう実験にも広くお使いいただけます。

XRTmicron Labは、研究者の学術的な知識の深化や新素材の発見をサポートすることで、材料科学の新たな可能性を切り拓き、パワーエレクトロニクスや光デバイスなどの分野における新たな応用技術の礎を築きます。