反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツール
X線反射率(XRR):単層・多層膜構造を持つ薄膜試料の膜厚、密度、ラフネスの評価に使用されます。
エネルギー分散型蛍光X線分析(EDXRF):薄膜試料の膜厚と組成評価のための元素分析技術です。
光学ツール:可視光を使用して2次元・3次元構造の評価を行います。
ハイブリッド計測:マイクロ焦点EDXRFと2D光学顕微鏡、および3D共焦点光学スキャナーを備えたインライン非破壊検査・計測技術です。これら補完的な技術の組み合わせは、バックエンド(BEOL)およびパッケージ化アプリケーションに最適です。