波長分散型蛍光X線分析装置

測定可能な元素：Be-U

リガクシステムは、B、C、N、O、Mg、Alなどの超軽元素を高分解能で簡単に測定できます。

分析可能な構造：最大20層の積層膜を効率的に分析

FP法は他の層による吸収を考慮できるため、複雑な化合物や多層構造のサンプルの分析がシステムの大きな強みです。

定量法：高度なFP法が利用可能

FP（基本パラメーター）法により、膜厚と組成の分析を1つのレシピで行うことができます。

分析可能な膜厚：サブオングストロームからミクロンレベル

リガクのシステムは高出力X線管（4 kW）を使用しており、ほとんどの元素に対して複数のスペクトルを選択できます。そのため、幅広い厚さのサンプルに適用できます。