磁性流体シールユニット

磁性流体シールユニットは、真空または差圧環境に回転運動を導入する最適な方法です。磁性流体シールは、オイルシールなどの他の汎用シールよりも高い性能を持ち、主に半導体およびFDP産業向けの真空システムで回転シールユニットとして使用されています。

リガクの磁性流体シールユニットの起源は、1952年にリガクが世界で初めて回転対陰極X線発生装置を商品化したことにさかのぼります。当初は社内製品用の内蔵ユニットでしたが、1989年に理学メカトロニクスが設立され、当時までに蓄積された技術に基づいて磁性流体シールユニットの製造を開始しました。当社の製品は、信頼性を最優先とする顧客のニーズにおいてさまざまな問題を解決するためのクリーンシャフトベアリングとして広く選ばれています。

詳細については、要素部品本部（旧理学メカトロニクス）のウェブサイトをご覧ください。