イオン注入装置
芯揺れ、共振を最小限におさえた高速回転を伝達します
- リガク独自の技術を用いることにより、共振をおさえ高速回転を実現しました。
- 高温・高真空・高荷重の仕様でも芯振れが少なく長寿命です。
- あらゆるタイプのイオン注入装置用磁性流体シールユニットの制作が可能となります。
イオン注入装置に適した磁性流体シール
イオン注入装置では高速回転でご使用いただくことが多いため真空側にベアリングがないカンチレバーFMB-Cシリーズ、カンチレバーF1B-Cシリーズ、カンチレバーF1T-Cをお勧めいたします。
また、高速回転時の発熱を抑えるため、水冷タイプの導入をご検討いただき、ぜひ弊社までご相談下さい。
FMB-C |
F1B-C |
F1T-C |
選定の際には使用温度範囲や、使用ガスなどにご注意下さい。
標準品で対応できない場合はご希望の形状や荷重条件等をこちらより弊社へ連絡頂ければ弊社営業より回答いたします。
