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磁性流体シールユニット

事例・実績

リガクの磁性流体シールは様々なアプリケーションへ使用されています。

半導体・FPD向け

mechatronics-app-vacuum-transport-robot
真空ロボット

リガクの磁性流体シールユニットはクリーン・真空ロボットの多様な用途でお客様のニーズに積極的に応えています。

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mechatronics-app-cvd
CVD装置

当社は長年にわたり、大手CVD装置メーカーに数多くの磁性流体シールを納入しており、各社製品に正式採用されています。

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mechatronics-app-sputtering-system
スパッタリング装置

太陽電池、タッチパネル、フラットパネルディスプレイなどの製造に必要な透明導電膜や反射防止膜を形成するスパッタリング装置には、リガクの磁性流体シールが多く採用されています。

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mechatronics-app-ion-inplanter
イオン注入装置

中心振れや共振を最小限に抑えながら高速回転を伝達します。

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mechatronics-app-single-crystal-growth
単結晶引き上げ装置

φ300mmを超える結晶インゴットの引き上げには、MCZ法やカスプド磁場法などの強力な磁場が必要となるため、この用途で使用する磁性流体シールは磁場の影響を受けないものでなければなりません。磁場に強いリガク独自の磁性流体シール構造が貢献しております。

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mechatronics-app-vacuum-chuck-mechanism
真空チャック

磁性流体シールを介して真空引きを行うことで、無駄なスペースを省くことができ、装置全体の小型化に寄与するだけでなく、安定した回転性能が得られることから、真空チャック用磁気シールの需要は徐々に増加しています。

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mechatronics-app-etching-systems
エッチング装置

エッチング装置には、活性ガス、高温、高速回転、プラズマ、電極、イオンビーム、強磁場、漏洩磁束など、さまざまな仕様や処理方法が用いられます。

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mechatronics-app-epitaxial-growth-system
エピタキシャル成長装置

当社の磁性流体シールは、高速回転、高真空性能、塩化物、有機金属ガス等の活性ガス雰囲気に対応できるため、各種エピタキシャル成長装置に最適です。

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その他の用途向け

mechatronics-app-roll-to-roll
ロールtoロール成膜装置

磁性流体シールは、Oリングシールやメカニカルシールと異なり、摩耗による発塵がなく、フィルム表面の汚染の心配もないため、ロールtoロール製膜装置に最適です。

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mechatronics-app-x-ray-generator
Ｘ線発生装置

X 線発生器は、高真空中で高速回転するターゲットに熱電子を衝突させて X 線を発生させる仕組みです。この装置にもリガクの磁性流体シールは使用されています。

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mechatronics-app-stirrer
攪拌装置

当社の磁気シールは、負圧・正圧のどちらにも使用でき、漏れをほぼゼロに抑えます。また、圧力反応器、混合タンク、真空ミキサー（混練機）、真空デフォーマーなどの軸シールにも使用できます。

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mechatronics-app-gas-induction-mechanism
ガス導入機

磁性流体シールからのガス導入により、装置全体がよりシンプルかつ効率的になります。

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mechatronics-app-arc-discharger
アーク放電／アークイオンプレーティング装置

ほこりがなく、クリーンで長寿命のリガク磁性流体シールは、アークイオンプレーティング装置のテーブルとターゲットの回転に最適です。

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mechatronics-app-vacuum-pressurized-furnace
真空炉・加圧炉

加圧ガスを循環させるファンの回転導入には、リガクの磁性流体シールが多数採用されています。リガク独自の磁気シール構造による高い軸剛性により、高耐荷重・高トルク伝達を実現しています。

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