当社の技術について

リガクの磁性流体シールは1978年に自社のX線回折装置のX線発生部用軸シールとして設計・開発されたのが始まりです。このユニットでは、高速回転、高真空保持、水冷機構など過酷な条件で使用されています。

リガクでは独自の磁気回路構成を開発することによって、過酷な使用条件に耐えられる磁性流体シールを完成させました。

90年代に入ると、CVD装置に代表される半導体装置にて磁性流体シールの需要が高まり、シールユニットの外部販売が事業のメインとなりました。

2001年からは事業を磁性流体シールに一本化しております。現在は半導体装置にとどまらず、FPD装置、分析機器装置等幅広い分野のお客様とお付き合いをさせて頂いております。

磁性流体シール30年の歴史

当社は、磁性流体シールの製造・開発において30年の歴史を持つ老舗メーカーです。これまでに蓄積してきた技術とノウハウの量は、他社には負けない自信があります。特に、真空シール用途における磁性流体シール技術は、高い信頼性と性能を求めるお客様から高く評価されており、さまざまな課題解決に貢献してまいりました。また、当社は現状に満足することなく、日々研究開発を重ねることで、真空シール技術のさらなる向上と製品のアップグレードを継続的に行っております。

特注品対応

当社製品の多くは、専用図面を作製した特注品の磁性流体シールユニットです。お客様に寄り添った製品開発をモットーに、1台のスポット生産から量産まで、お客様目線に立ち、当事者意識をもって対応しております。特に、真空シール用途における磁気シール技術は、高い信頼性と精度が求められる環境において、数多くのお客様からご支持をいただいております。当社では、品質・コスト・納期のすべてにおいてご満足いただける製品を提供するために、「どうすれば真に価値ある真空シール製品を届けられるか？」を日々意識しながら、研究開発と技術のアップグレードに取り組んでおります。

徹底した品質管理

リガクの磁性流体シールは、半導体業界の発展とともに歩んできました。究極のクリーン度が求められる半導体製造の現場では、真空シール部品にも同様の高い品質基準が求められます。当社では、磁性流体シールを単なるパーツ部品とは捉えず、磁気シール技術を活用した精密な密封機構として位置づけています。前工程での徹底した部品洗浄、後工程でのクリーニングなど、コンタミネーションの原因を排除するための対策を徹底し、クリーンな真空シール環境に適した製品を提供しています。

リガクの実績

お客様数1400社
年間販売台数3500台
カスタム品の割合60%

mechatronics_about_design 当社では30年以上の磁性流体シールの販売実績があり、これまでの取引お客様数は1400社にのぼります。現在、3500台ものシールユニットを年間販売しており、その中の60％はお客様装置専用のカスタム品になります。

30年もの期間で培った経験、設計力をもとにお客様の要望に沿った製品を作り上げていきます。

詳しくは下記特注品ページをご参照下さい。

・特注品

製造環境

東京都昭島市のリガク本社工場内に製造設備を構え、製品は国内生産を主としています。

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組み立て前の徹底した部品洗浄、組み立て工程はクリーンルーム内で行っており、精密電気電子業界の装置環境にも適した製品を提供しております。

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リガク磁性流体シールの独自磁気回路

リガクの磁性流体シールは複数のマグネットの同極を先端が二つに分かれたポールピースを挟んで向かい併せに配置することで、互いに独立した複数の磁気回路を形成しています。隣接する磁場の反発効果によりポールピース先端で磁束が集中し、そこに磁性流体が強力に保持されるため、シール1段あたりに耐圧が大きくなっています。そのため、磁性流体シールをより小型にすることが可能です。

また、耐圧の大きい磁気回路構造のため、ポールピースと回転軸の隙間を大きくすることができ、高速回転や大口径シールの設計も可能となっています。

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