大流量HUM
長時間の水蒸気測定や大流量の水蒸気が必要な場合に使用します。
仕様
| 湿度制御範囲 | 室温～80℃、10%RH～90%RH |
| 水槽容量 | 2100mL |
| MFC流量 | Dry用1000mL、Wet用1000mL |
| 校正精度 | 湿度±1.5%RH（10～95%RH）温度 ±0.3℃ |
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