【お知らせ】リガク、微小部蛍光X線分析装置「Qualana」をJASIS2026にて発表
リガク・ホールディングスのグループ会社であり、X線分析装置の世界的ソリューションパートナーである株式会社リガク（本社：東京都昭島市、代表取締役社長：川上 潤、以下「リガク」）は、最小20 µmの微小領域の元素分析が可能な、微小部蛍光X線分析装置「Qualana」をJASIS2026にて発表します。
電子デバイスや電池、先端材料などの高機能化・微細化に伴い、微小部品や材料の局所的な元素組成、膜厚分布、異物などを評価するニーズが高まっています。一般的に微小領域の元素分析では、X線を絞ることによる信号強度の低下や、試料の凹凸による観察位置とX線照射位置のずれなどが課題となります。Qualanaは、X線照射と試料観察を試料直上から行う光学系や、微小領域の分析に対応した高精度なステージを採用し、狙った位置の元素情報を正確に取得します。
微小部蛍光X線分析装置 Qualana
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狙った位置に確実にX線を照射
X線レンズと試料観察カメラの両方を試料直上に配置した光学系を採用しています。X線照射とカメラ撮像を同じ垂直方向から行うことで、試料の高さや凹凸の影響による観察位置とX線照射位置のずれを抑制し、測定したい位置を正確に分析します。 -
最小20 µmの微小領域を高精度に分析
最小径20 µmでX線を試料に照射し、微小領域の元素組成を分析できます。電子部品の微小な構成部位や異物、変色部など、広い照射径では評価が難しい局所領域の元素情報を取得します。 -
大面積マッピングにより、広い範囲を効率よく評価
最大200 mm × 200 mmの範囲に対応した大面積マッピング測定が可能です。照射径を切り替えることで、微小領域を対象とした高精細な測定と、広い範囲を対象とした効率的な測定を使い分けることができます。広い範囲の元素分布を確認するほか、微小な異物の探索にも対応します。 -
薄膜対応のFPプログラム
リガクが50年以上培ってきたFPプログラムを用いて組成・膜厚の定量を行います。多層膜FPでは、幅広い薄膜試料に対して自由度の高いFPモデル設定が行えます。
【製品詳細】