ONYX 3000

ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール

300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)

マイクロスポットX線ビームとパターン認識

デバイス構造の2Dおよび3D光学特性

ハイスループット、ブランケットおよび製品ウェーハの測定

幅広い材料と用途

オングストロームからミクロンまでの厚さをカバーする高解像度と精度

軽元素感度のためのヘリウムパージ測定環境

300mm以下のウェーハ用に構成可能

SEMIS2およびSEMIS8に基づく設計

製品名	Onyx
手法	蛍光X線および光学顕微鏡
用途	極薄の単層フィルムから多層スタックまでを測定します。 BEOLおよびWLP構造の特性評価
テクノロジー	マイクロスポットEDXRFおよび2D、3Dの光学顕微鏡を処理します
主要コンポーネント	SEMIS2およびSEMIS8、マイクロスポットポリキャピラリーX線光学系に基づく設計
オプション	SECS / GEM通信ソフトウェア、COLORSビームモジュール
制御(PC)	内部PC、MS Windows® OS
本体寸法	1390 (W) x 2040 (H) x 2960 (D) mm
質量	1250 kg （本体）
電源	単相 208 VAC 50/60 Hz, 16A

学会や展示会にご参加の際は、リガクの展示ブースにぜひお立ち寄りください。

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