ONYX 3000

ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール

300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)

ONYX 3000 特長

マイクロスポットX線ビームとパターン認識
デバイス構造の2Dおよび3D光学特性
ハイスループット、ブランケットおよび製品ウェーハの測定
幅広い材料と用途
オングストロームからミクロンまでの厚さをカバーする高解像度と精度
軽元素感度のためのヘリウムパージ測定環境
300mm以下のウェーハ用に構成可能
SEMIS2およびSEMIS8に基づく設計

ONYX 3000 仕様

製品名 Onyx
手法 蛍光X線および光学顕微鏡
用途 極薄の単層フィルムから多層スタックまでを測定します。 BEOLおよびWLP構造の特性評価
テクノロジー マイクロスポットEDXRFおよび2D、3Dの光学顕微鏡を処理します
主要コンポーネント SEMIS2およびSEMIS8、マイクロスポットポリキャピラリーX線光学系に基づく設計
オプション SECS / GEM通信ソフトウェア、COLORSビームモジュール
制御(PC) 内部PC、MS Windows® OS
本体寸法 1390 (W) x 2040 (H) x 2960 (D) mm
質量 1250 kg (本体)
電源 単相 208 VAC 50/60 Hz, 16A

ONYX 3000 イベント

学会や展示会にご参加の際は、リガクの展示ブースにぜひお立ち寄りください。

現在予定されているイベントはありません。

お問合せ

製品選びから据付後の技術サービスまで、何でもお気軽にお問合せください。