ONYX 3000
ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール
300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)
ONYX 3000 特徴
マイクロスポットX線ビームとパターン認識
デバイス構造の2Dおよび3D光学特性
ハイスループット、ブランケットおよび製品ウェーハの測定
幅広い材料と用途
オングストロームからミクロンまでの厚さをカバーする高解像度と精度
軽元素感度のためのヘリウムパージ測定環境
300mm以下のウェーハ用に構成可能
SEMIS2およびSEMIS8に基づく設計
ONYX 3000 仕様
| 製品名 | Onyx | |
|---|---|---|
| 手法 | 蛍光X線および光学顕微鏡 | |
| 用途 | 極薄の単層フィルムから多層スタックまでを測定します。 BEOLおよびWLP構造の特性評価 | |
| テクノロジー | マイクロスポットEDXRFおよび2D、3Dの光学顕微鏡を処理します | |
| 主要コンポーネント | SEMIS2およびSEMIS8、マイクロスポットポリキャピラリーX線光学系に基づく設計 | |
| オプション | SECS / GEM通信ソフトウェア、COLORSビームモジュール | |
| 制御(PC) | 内部PC、MS Windows® OS | |
| 本体寸法 | 1390 (W) x 2040 (H) x 2960 (D) mm | |
| 質量 | 1250 kg （本体） | |
| 電源 | 単相 208 VAC 50/60 Hz, 16A | |
