ONYX 3000

    ハイブリッドXRFおよび光計測FABツール

    300mm、200mmウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成を、同時に非破壊、非接触で分析可能なエネルギー分散型蛍光X線分析装置(ED-XRF)

    ONYX 3000 特徴

    マイクロスポットX線ビームとパターン認識
    デバイス構造の2Dおよび3D光学特性
    ハイスループット、ブランケットおよび製品ウェーハの測定
    幅広い材料と用途
    オングストロームからミクロンまでの厚さをカバーする高解像度と精度
    軽元素感度のためのヘリウムパージ測定環境
    300mm以下のウェーハ用に構成可能
    SEMIS2およびSEMIS8に基づく設計

    ONYX 3000 仕様

    製品名 Onyx
    手法 蛍光X線および光学顕微鏡
    用途 極薄の単層フィルムから多層スタックまでを測定します。 BEOLおよびWLP構造の特性評価
    テクノロジー マイクロスポットEDXRFおよび2D、3Dの光学顕微鏡を処理します
    主要コンポーネント SEMIS2およびSEMIS8、マイクロスポットポリキャピラリーX線光学系に基づく設計
    オプション SECS / GEM通信ソフトウェア、COLORSビームモジュール
    制御(PC) 内部PC、MS Windows® OS
    本体寸法 1390 (W) x 2040 (H) x 2960 (D) mm
    質量 1250 kg (本体)
    電源 単相 208 VAC 50/60 Hz, 16A

    ONYX 3000 イベント

    学会や展示会にご参加の際は、リガクの展示ブースにぜひお立ち寄りください。

    現在予定されているイベントはありません。

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