XHEMIS TX-3000V 概要
典型元素の検出限界（LLD）
| 検出限界LLD（E10原子/cm²） | Al | Fe | Ni | Cu |
| TXRF | 14 | 0.06 | 0.06 | 0.09 |
| VPD-TXRF | 0.1 | 0.001 | 0.001 | 0.002 |
計測時間：1000秒
XHEMIS TX-3000V 仕様
| 手法 | 蒸気相分解（VPD）を伴う全反射X線蛍光分析（TXRF） | |
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| 用途 | 極微量元素niyoru表面汚染の測定 1E7原子/cm²の検出限界 マッピング速度の約3倍の改善 |
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| テクノロジー | 統合された自動VPD準備、三重ビーム励起、および自動光学部品交換 | |
| 主要コンポーネント | 3検出器構成 高出力W対陰極X線源（9 kW回転対陰極） 軽元素、遷移元素、重元素に最適化された3つの励起エネルギー XYθ試料ステージ デュアルFOUPロードポート |
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| 特徴 | フルウェーハマッピング（SWEEPING-TXRF） ゼロエッジ除外（ZEE-TXRF） 最高感度のためのSiウェーハ用の統合された自動VPD前処理（VPD-TXRF） デュアルFOUPロードポート |
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| オプション | バックサイド解析（BAC-TXRF） GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート 空間情報を保持しながら感度を向上させるための蒸気相処理（VPT-TXRF） 親水性ウェーハ表面（例：SiC）用のVPD |
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| 本体寸法 | 1280 (W) x 3750 (D) x 2040 (H) （モニターとシグナルタワーを除く） |
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| 測定結果 | 定量結果、スペクトルチャート、カラーコンターマップ、マッピングテーブル | |
XHEMIS TX-3000V イベント
