XTRAIA CD-3010G

斜入射X線CD計測ツール

GISAXSによるCD測定、X線反射率（XRR）測定による膜厚、密度、および粗さの測定などが可能です。

300mmウェーハまで対応

手法	斜入射小角X線散乱測定（GISAXS） X線反射率測定（XRR）
用途	浅い繰り返し構造の臨界寸法測定
X線源	封入管, Cu Ka (8.04 KeV)
X線光学系	多層ミラー光学系
X線検出器	2次元検出器
主要コンポーネント	パターン化ウェーハの計測周期的な微細な3D形状ライン＆スペース、ドットまたはホール構造浅い穴/柱、レジスト、マスクパターン、メモリデバイスのセル領域、FinFET/GAA
特徴	パターン認識およびフルウェーハマッピング
オプション	GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート
本体寸法	1865(W) × 3700(D) × 2115(H) mm, 2965 kg (ロードポート含む)
測定対象	GISAXS: ピッチ、CD、高さ、SWA（側壁角度）、RT（丸みのある上部）、RB（丸みのある下部）、線幅分布、ピッチ分布、高さ分布 XRR: 膜厚、密度、および粗さ

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