XTRAIA CD-3010G
斜入射X線CD計測ツール
GISAXSによるCD測定、X線反射率（XRR）測定による膜厚、密度、および粗さの測定などが可能です。
300mmウェーハまで対応
XTRAIA CD-3010G 仕様
| 手法 | 斜入射小角X線散乱測定（GISAXS） X線反射率測定（XRR） |
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|---|---|---|
| 用途 | 浅い繰り返し構造の臨界寸法測定 | |
| X線源 | 封入管, Cu Ka (8.04 KeV) | |
| X線光学系 | 多層ミラー光学系 | |
| X線検出器 | 2次元検出器 | |
| 主要コンポーネント | パターン化ウェーハの計測 周期的な微細な3D形状 ライン＆スペース、ドットまたはホール構造 浅い穴/柱、レジスト、マスクパターン、メモリデバイスのセル領域、FinFET/GAA |
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| 特徴 | パターン認識およびフルウェーハマッピング | |
| オプション | GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート | |
| 本体寸法 | 1865(W) × 3700(D) × 2115(H) mm, 2965 kg (ロードポート含む) | |
| 測定対象 | GISAXS: ピッチ、CD、高さ、SWA（側壁角度）、RT（丸みのある上部）、RB（丸みのある下部）、線幅分布、ピッチ分布、高さ分布 XRR: 膜厚、密度、および粗さ |
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XTRAIA CD-3010G イベント
