光学素子

多層膜光学素子は、軽元素と重元素を含む材料を交互に基板上に堆積することで作られます。層の厚さは、X線が適切な角度で多層膜光学素子に入射した場合、単色の回折X線ビームを生成するという点で結晶格子面間隔のように機能します。層の厚さをあらかじめ湾曲させた基板全体で変化させると、より広い発散角をもつX線を集光または平行化する光学素子を作ることができます。

リガクの製品は、多くの産業によって使用される計測機器や材料を改善します。たとえば、コンピュータチップ回路の縮小化を支援するために極端紫外線（EUV）用の多層膜やコーティングを提供しています。また、放射光ビームラインやエンドステーション用の単層膜、多層膜、結晶光学素子も提供しています。コーティングは、お客様の基板またはリガクが提供する新しい基板に対して行うことができます。